TOKYO FUNNEL

用途

• 半導体製造工程の中、活性領域(ソース・ドレイン)部分にイオンを注入してダイオード特性などを作るイオン注入工程で使用される、イオンビームを発生させるフィラメント

特徴

• 高純度のタングステン材料の使用および精密な寸法管理
• 熱処理加工による長寿命の維持